《经济通通讯社9日专讯》荷兰光刻机巨头艾司摩尔(ASML)9日上午发布声明表示,ASML预计必须申请许可证方可出口DUV设备,不过,新的出口管制措施并不针对所有浸没式光刻系统,先进程度相对较低的浸没式光刻系统已能很好满足成熟制程为主的客户的需求。
据外电报道,荷兰外贸部长周三(8日)发给议员的信函表示,基于国家和国际安全的理由,荷兰政府拟提议限制浸没式DUV光刻机的出口,这意味著对最尖端光刻机出口管制进一步收紧,而这类产品恰好是生产全球最先进晶片的关键。