在东北老工业基地辽宁，以半导体为主业的辽籍上市公司已有5家，若再加上新三板公司中科仪、现有业务囊括半导体装备业务的新松机器人、拟上市企业和研科技等，辽籍半导体产业集群已经初具规模。

近日，证券时报记者实地采访时了解到，借助资本市场的力量，辽宁半导体企业发展速度得到进一步提升，辽宁有望成为国内半导体装备产业的“第三极”。预计到2024年，辽宁沈阳的半导体装备产业总产值将会超过100亿元。

迎来收获期

据辽宁省半导体行业协会秘书长、富创精密董事长兼总经理郑广文介绍，早在本世纪初期，辽宁省相关政府部门、学界人士和企业家通过反复讨论达成共识，将半导体装备产业确定为发展方向，经过20多年的不懈努力，厚积薄发，如今终于迎来收获期。

程龙目前担任新松机器人半导体装备业务负责人，在新松机器人内部，程龙和他的半导体装备团队被寄予厚望。

“目前，公司半导体设备产业化应用已初具规模，产品包括大气机械手、真空机械手等系列产品，以及设备前端模块(EFEM)、真空传输平台，主要应用于薄膜、离子注入等工艺环节及领域，广泛服务于硅片生产、晶圆加工、先进封装及封装测试等半导体制造全产业链，服务的下游行业主要是半导体工艺设备厂商。”程龙向证券时报记者表示。新松机器人的全资子公司沈阳新松半导体设备有限公司主营为半导体装备业务，以子公司经营平台的形式独立发展，意味着该公司将集中人才、资金等优质资源，为半导体子公司赋能，加速使其发展成为公司支柱业务之一。

在辽宁省上市公司当中，芯源微、神工股份、拓荆科技、富创精密、连城数控等5家公司的主业均是与半导体相关。其中，芯源微是国内唯一能够提供前道量产型涂胶显影设备的厂商，同时，其在前道物理清洗、后道先进封装及化合物半导体等领域也都保持着国内细分市场的龙头地位;拓荆科技是国内唯一一家产业化应用的集成电路PECVD、SACVD、HDPCVD设备厂商，也是国内领先的ALD设备厂商;富创精密是国内半导体设备精密零部件的领军企业;神工股份主要生产半导体用单晶硅材料等;连城数控是光伏及半导体行业所需晶体材料生长、加工设备及核心技术等多方面支持的集成服务商。另外，新三板挂牌企业中科仪是国内唯一在集成电路领域实现批量应用的干式真空泵企业;拟上市公司和研科技主要生产半导体用划片设备等。

郑广文说，辽宁省半导体装备产业目前已处于国内第一阵营，在该领域的优势十分明显。

“近20余年来，辽宁推动产业自主发展，集聚和培育出了一批优势骨干企业，如今这些半导体企业终于迎来厚积薄发。继上海及周边地区、京津冀地区之后，辽宁省已经成为国内半导体装备产业‘第三极’。”程龙介绍。

值得注意的是，辽宁省的半导体企业之间有着较为紧密的联系，郑广文系芯源微董事，郑广文旗下的沈阳先进制造技术产业有限公司是芯源微第一大股东，中科仪系拓荆科技的股东。

“辽宁省的半导体产业在近年来发展速度很快，一个重要原因是这些企业抱团发展，而非各自为战。”郑广文认为。

解析产业链

辽宁省拥有相对完整的半导体装备产业链。据辽宁省社科院产业经济研究所副所长姜瑞春介绍，半导体产业链上游包括零部件、材料和控制单元，目前辽宁拥有富创精密、新松机器人、中科仪、沈阳硅基、中科博微等上游企业，能够供应反应腔、真空干泵、机械手、控制软件、SOI材料等零部件和控制系统。

“辽宁省半导体产业在精密零部件领域完成了精密切削、精密表面处理、特种焊接技术研发，特种表面处理生产线国际一流、亚洲第一，核心技术打破了国外对中国半导体产业的技术封锁。真空获得与应用技术、晶体生长关键技术达到国际先进水平。真空密封技术攻克了技术难关，达到国内领先水平。”姜瑞春表示。

据介绍，半导体产业链中游为整机设备制造商，目前辽宁省拥有芯源微、拓荆科技、仪表院等企业，可以进行薄膜设备、涂胶显影机、划片机等半导体整机制造和系统集成。半导体产业链下游主要应用于集成电路制造、封测企业，目前辽宁从事集成电路制造的企业主要是中电科第47所和仪表院等研究部门。

证券时报记者在采访中获悉，“十三五”期间，辽宁省沈阳市的IC装备产业实现连续五年稳定快速增长，年均增长率达到10.1%，已经形成了“一项控制系统技术、八类重要整机装备、一批关键单元部件和一个精密零部件支撑平台”的配套体系和批量生产能力。

在辽宁省相关上市公司当中，富创精密目前已经成为全球为数不多的能够为7纳米工艺制程半导体设备批量提供精密零部件的厂商。芯源微前道涂胶显影机与各厂家主要技术节点的国际主流光刻机都能联机量产，特别是28纳米浸没式涂胶显影机已经实现了国内28纳米及以上制程工艺的全覆盖。PECVD设备是拓荆科技的核心产品，也是芯片制造的核心设备之一，拓荆科技已经形成了覆盖全系列PECVD薄膜材料的设备。新松机器人是国内领先的真空机械手及集束型设备的生产制造商。连城数控第三代半导体碳化硅长晶设备已形成批量订单，磨床、滚圆机等晶体加工设备已经在客户端形成批