9月18日，南方上证科创板新材料ETF、博时上证科创板新材料ETF、嘉实上证科创板芯片ETF、华安上证科创板芯片ETF、华夏中证机床ETF、国泰中证机床ETF正式获批。证监会网站显示，这6只硬核科技ETF均为9月16日刚刚上报，便于9月18日拿到批文。