核心观点：

公司公布中报，扣非同比大幅增长。22H1收入11.20亿，同比增长21.67%；归母净利润0.81亿，同比下降45.92%，主要是因为21H1收到的政府补助及处置长期股权投资所获收益金额较大；扣非净利润0.97亿，同比增长128.12%；毛利率为36.09%，同比增长5.22pct。

国产替代进展良好，公司订单保持高增长。公司主营业务为高纯工艺集成系统、半导体设备和光传感器及光电子元器件，在高纯工艺系统领域公司已成为行业领头羊，打破了原先由国外气体公司垄断的市场格局。根据公司半年报和中国招标网，截至2022年6月30日，公司新增订单总额为23.62亿元，同比增长37.33%，其中含184套与中芯东方签订的特殊气体系统，为公司全年40亿订单目标奠定较好基础。

半导体制程设备业务持续发力。根据公司2021年年报，公司于2015年开始布局半导体设备，2018年取得订单，目前可提供湿法槽式清洗设备及湿法单片式清洗设备。2022年上半年，半导体制程设备新增订单8.06亿元，同比增长73.09%；实现收入4.66亿元，同比增长73.09%，贡献了41.6%的营收；毛利率35.11%，同比提升11.21pct。

公司湿法设备进度从验证和初次订单展开到已验证工艺机台的重复订单，且在22H1陆续交付4台14纳米以下制程的设备，未来将随下游需求继续保持增长。

盈利预测与投资建议。预计22-24年收入分别为28.64/38.91/50.40亿，EPS1.23/1.70/2.25元，现价对应22年PE为29.3倍，参考可比公司，给予2022年45倍PE，对应合理价值55.35元/股，维持“买入”

评级。

风险提示。下游资本开支不及预期；核心零部件进口风险；行业竞争加剧导致毛利率下滑。