本报告导读：

中美摩擦加强国产替代逻辑，光伏供不应求加速扩产速度，公司工艺介质供应设备和特气业务协同发展，业绩将深度受益。

投资要点：

维持“增持”评级，上调目标价至46.20元。公司设备和材料业务订单饱满，业务加速放量，上调2022-2024年EPS为1.05/1.53/2.07元（原预测值为1.02/1.54/2.13元）。考虑特气材料业务受益半导体国产化加速放量，给予其2023年30倍PE，上调目标价至46.20元，维持“增持”评级。

受益半导体国产化，订单饱满加速放量。本土晶圆厂资本开支不减，长江存储三期、华虹九厂、粤芯、长鑫、中芯国际等本土主要晶圆厂仍在加速扩建，加强晶圆制造自主可控。公司工艺介质系统直接受益于本土晶圆厂扩产建设，随着国产化份额提升，公司订单饱满，放量在即。

合同负债与存货高企，积极应对供应链挑战保障交期。公司1Q22末合同负债9.6亿元，存货13.2亿元，同比环比均大幅提升。合同负债是在手订单的直接体现，逐季度向上，增长趋势明显。公司为应对疫情等供应链难题，加大库存备货以确保大客户交期，存货明显提升；在海外零部件供应困难背景下，公司备货策略有望抢占更高市场份额。

公司工艺介质打造良好口碑，气体产品导入大客户顺利。公司自研自产砷烷、磷烷等特种气体，募资项目达产后，年产能预计砷烷40吨，磷烷40吨。公司凭借行业口碑，气体产品导入顺利。

风险提示。中美科技摩擦反复；本土晶圆厂资本开支不及预期。