本报告导读：

受益刻蚀业务持续高增长，公司一季度业绩超预期。公司全面布局，刻蚀新品拓展顺利，MOCVD高速成长，薄膜设备加速开发，未来高成长性确定。

投资要点：

维持“增持”评级，下调目标价至144.64元。CCP设备进入5nm及以下生产线，ICP设备快速放量，MOCVD和薄膜设备全面渗透，1Q22扣非后利润增长超预期，上调2022-2024年EPS为1.75、2.11、2.62元（原预测值2022-2023年为1.18、1.63元）。考虑到公司前道刻蚀设备迈入高速成长期，参考半导体设备行业估值，给予2022年20倍PS，下调目标价至144.64元，维持“增持”评级。

一季度业绩超预期，在手订单充足奠定全年高增基础。22Q1公司营收9.49亿元，YOY+57.31%，刻蚀业务验收大幅提升（营收7.14亿元，YOY+105.03%）。合同负债15亿元，YOY+227.5%；存货21亿元，YOY+71.43%，在手订单充足，公司全年业绩有望维持高速增长。

刻蚀设备技术优势明显，市场认可度大幅提高，未来高成长性确定。

CCP设备成功进入5nm芯片生产线和下一代试生产线，在部分关键客户市场占有率进入前三位甚至前二位。ICP设备通过诸多客户工艺认证并获得重复订单，21年付运超180腔，同比增长超过230%，预计未来收入增速将显著高于CCP。

MOCVD设备高速成长，薄膜设备加速开发，公司全面布局卡位多个黄金赛道，成长可期。公司高性能MiniLED量产的设备半年内收到订单合计已超过100腔。薄膜设备领域的LPCVD、EPI设备也已取得良好进展，ALD和ALE设备正在加速开发。

风险提示。大陆晶圆产线建设不及预期；MiniLED渗透不及预期。