本报告导读：

公司前道设备持续突破，最新斩获中芯绍兴5台设备订单，并加速渗各产线，进一步助力公司打开业绩增长空间。

投资要点：

维持“增持”评级，维持目标价162.11元。维持2020-2022年EPS预测为0.46、0.89、1.98元。按照不考虑股权激励摊销费用影响2021年EPS1.10元，参考可比公司估值，给予公司2021年147.37倍PE，维持目标价162.11元，维持增持评级。

公司最新斩获中芯绍兴5台前道设备订单，并加速渗各产线。2020年9月28日，根据中国国际招标网，公司中标中芯绍兴产线5台前道设备（包括涂胶机1台、显影机1台、清洗机2台、刻蚀机1台），我们预计总价值量近5000万元。同时公司2018年至今已在华力微、中芯绍兴、株洲中车和积塔四条产线中累计中标21台前道设备，其中2020年中标13台，20Q3中标9台，20年增长态势明显。

公司目前所推进的前道设备细分市场空间广阔。（1）前道涂胶显影设备：公司目前产品为28nm及以上节点前道Barc、PI及I-line工艺机台，全球空间2021年6.2亿美元，国内（含台湾地区）空间2.5亿美元。（2）清洗设备：全球IC清洗设备市场规模为30亿美元。其中0.13μm及以上前道单片物理清洗机全球规模1.5亿美元，国内（含台湾地区）规模0.50亿美元。国内产线加速建设且对国产设备采购力度有望加大，公司将深度受益。

积极投资助力前道设备技术升级，打造未来业绩关键增长点。公司进一步投资5.28亿元发展高端晶圆处理设备，助力其扩产和技术升级。

风险提示。LED行业景气度持续恶化；中美贸易摩擦的不确定性。