22日早盘，光刻机相关概念股大涨，蓝英装备和捷捷微电涨停，科创板个股安集科技涨近18%、华特气体涨12%。

光刻机是芯片制造中最核心设备，复杂程度高，形成庞大产业链。光刻环节是晶圆制造中最核心工艺，占晶圆制造耗时40%-50%，占芯片成本30%。作为光刻工艺的核心设备，光刻机结构复杂、成本极高，占晶圆制造设备投资23%。区别于其他晶圆制造设备，浸没式DUV和EUV光刻机可形成自身产业链，因此高端光刻机的突破需要物镜、光源、浸没式系统等核心组件和光刻胶、光刻气、光罩、涂胶显影设备、检测设备等诸多配套设施的协同发展。

西南证券指出，光刻产业链组件推荐福晶科技，建议关注国科精密、启尔机电、华卓精科、科益虹源等02专项支持企业研发进度；光刻胶建议关注南大光电、晶瑞股份、雅克科技、上海新阳、容大感光、北京科华等；涂胶显影设备建议关注芯源微，前道检测设备推荐精测电子，建议关注睿励科学、赛腾股份；光刻气建议关注华特气体、凯美特气；光罩建议关注清溢光电、菲利华。