核心观点：

真空泵是制造业重要的通用设备，半导体应用占据最大份额，光伏高增长。真空系统是用来获得真空环境的系统，是半导体、科学仪器、化工、制药行业重要的子系统，应用广泛。真空泵是真空系统重要的组成部分，是用来产生、改善和维持真空环境的装置。根据ISVT，2019年全球真空设备的市场规模约350亿元，其中半导体用真空设备约135亿元，占比约38%，是最大的应用领域，此外光伏领域的真空泵需求正快速增长。

半导体行业存量真空泵的更新占据较大比例，保证需求稳定增长。根据我们测算，2019年全球半导体真空泵的设备与服务需求市场规模约130亿元，参考ICsights对全球晶圆产能的预测，预计到2025年市场规模可达到217亿元，复合增占率约9%，保持温和增长，其中存量真空泵的更新占到整个设备市场的60~70%，庞大的存量市场保证了半导体真空泵的稳定需求，减小了行业的波动性。根据我们测算，2019年我国半导体真空泵的设备与服务需求规模约31亿元，2025年预计可达到57亿元，维持稳定增长。

太阳能电池硅片、电池片、组件等环节大幅扩产，光伏真空泵市场规模快速扩张。太阳能发电成本不断降低，需求进入上升期，根据硅业协会和我们的统计，预计硅片/电池片/组件等各环节2021年扩产规模均在100GW以上，拉晶、镀膜、层压等环节对真空泵均有需求，下游的大幅扩产预计将带动光伏行业真空泵市场规模的快速增长。同时，光伏行业现在面临PERC+/TOPCon/HJT等技术路线的分歧，设备降本对技术路线影响较大，设备降本的需求有利于进一步推进真空泵的国产化进程。根据我们的测算，2019年我国光伏行业对真空泵的设备与服务需求规模约21.7亿元，预计至2022年可增至55.5亿元，复合年增长率达36%。

行业高度集中，国内企业在光伏/半导体领域真空泵已实现国产突破。全球半导体真空泵市场主要由Edwards、Kashiyama、Ebara等少数几家国际知名公司占据，2019年Atlas真空部门的收入约26.9亿美元，当年在真空领域的市占率约53%，处于绝对领先地位。国内以汉钟精机、中科仪为代表的国内半导体真空泵优秀企业已逐步实现国产替代。汉钟精机2019年公司总收入18.07亿元，其中真空产品收入3.69亿元，占总收入的20.43%，根据公司的业绩快报，2020年营收总收入22.73亿元，同比增加25.78%，维持高增速，目前公司的真空产品主要应用在光伏领域，根据公司2019年年报，公司干式真空泵在国内半导体及一线大厂及设备厂都已导入。

根据中科仪的招股说明书，公司真空泵已进入隆基、晶盛、长江存储等光伏和半导体头部客户，产品力获认可，2019年公司销售真空干泵2546台，销售收入1.57亿元，同比增加97.8%。

投资建议。当前国内少数几家企业在光伏及半导体真空泵实现了国产突破。受益下游光伏领域积极扩产以及国产化率显著提升，真空泵需求预计将持续保持快速增长；而未来在半导体领域的逐步拓展，将进一步打开成长空间。建议关注国内半导体真空泵的优质企业：汉钟精机、中科仪（拟上市）。

风险提示。行业投资波动带来的收入不确定性；行业竞争加剧导致毛利率下滑；技术研发及国产化趋势推进不及预期；国家产业扶持政策变化或扶持力度不及预期。