长江证券研报指出，中微公司(688012.SH)Q1刻蚀设备销售收入增长带动整体营收增长。公司的刻蚀设备在国内外持续获得更多客户的认可，针对先进逻辑和存储器件制造中关键刻蚀工艺的高端产品新增付运量显著提升。由于半导体下游客户的产能利用率波动影响，本期备品备件及服务收入约2.32亿元，较上年同期下降约4.38%。公司晶圆边缘Bevel刻蚀设备完成开发，即将进入客户验证，公司的TSV硅通孔刻蚀设备也越来越多地应用在先进封装和MEMS器件生产。此外，公司近期已规划多款CVD和ALD设备，增加薄膜设备的覆盖率，进一步拓展市场。维持“买入”评级。
