格隆汇3月6日|英杰电气(300820.SZ)于2024年3月5日接受特定对象调研，就“请介绍一下半导体射频电源的覆盖情况”，公司回复称，公司在2023年四季度开始已经有一个型号量产了，目前仍然处于持续供货的状态，同时又有几个型号已经进入到小批量供货的阶段，进展顺利的话后面也会进入量产阶段。其余机台的研发和测试都在有序推进中。公司的目标是在2024年对刻蚀机全部机台所需的射频电源完成全面覆盖，目前推进情况良好。