上海新阳:ArF类光刻胶样品目前在国内晶圆制造企业验证中
时间:2023-01-28 17:29:22来自:证券时报·e公司字号:T  T

证券时报e公司讯,上海新阳在互动平台表示,公司KrF光刻胶已批量化生产销售,ArF类光刻胶样品目前在国内晶圆制造企业验证中,EUV光刻胶尚在开发阶段。

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