南大光电(300346.SZ)成立于2000年，公司从MO源产品起家，已成长为全球MO源主要生产商，全球市占率超过40%，在MO源的合成制备、纯化技术、分析检测、封装容器等方面已全面达到国际先进水平。为了规避行业波动性，公司积极向其他半导体材料领域布局，包括全椒南大光电磷烷、砷烷产品的开发，收购飞源气体布局含氟特气业务，以及正在研发产业化当中的ArF光刻胶项目。

2021年上半年，公司电子特气实现营收3.12亿元，同比增长66.21%，产品毛利率上升6.19个百分点。MO源产品实现营收0.91亿元，同比增长61.64%，产品毛利率上升6.75个百分点。

电子特气方面，公司新一代安全源、混气产品相继产业化，最新升级的超高纯砷烷产品品质在下游客户的测试中已超过目前国际先进同行的技术水平，超高纯磷烷产品进入国际一流制程的芯片企业，公司氢类电子特气已跃居世界前列。

MO源方面，除了已有产品外，公司通过提升MO源超纯化和超纯分析技术实现了在第三代半导体领域的新应用市场增长，高纯ALD/CVD前驱体产品也实现批量供货国内外先进半导体企业。

2019年公司收购飞源后，飞源气体已成为全球主要的三氟化氮和六氟化硫生产企业之一。飞源通过与公司的客户、技术等协同合作，以及产能扩张、技术革新实现降本增效，已成为公司主要盈利来源之一。截至2021年9月，飞源气体已建成3800吨/年的三氟化氮和3500吨/年的六氟化硫生产线。

同时，公司光刻胶量产工作也在稳步推进中，年产25吨ArF光刻胶生产线已于7月通过专家组绩效评价验收，为公司量产后的长期业绩增长奠定基础。