半导体行业景气度依旧火热，缺芯问题仍在延续。鸿海、中芯国际、瑞萨等多家厂商预计芯片短缺问题将至少在2022年中开始缓解，英特尔、意法半导体则认为芯片短缺问题将持续至2023年。

晶圆厂正在大举扩产。国内方面，中芯国际、华虹集团、青岛芯恩、长江存储、合肥长鑫、华润微、士兰微等未来几年都将大规模扩充产能。

晶圆厂扩产带来了大量半导体设备需求。数据显示，晶圆制造设备占半导体设备市场的80%，占据晶圆制造产线投资的80%。在晶圆厂积极扩产的背景下，半导体设备需求旺盛。半导体设备交期不断延长。

不过，目前半导体设备市场主要由美国、日本厂商主导，我国半导体设备国产化率仅在10%-20%左右。随着半导体设备国产化诉求逐步增强，中芯国际、华虹集团、长鑫存储、华润微、闻泰科技等国内晶圆厂在新增产能建设过程中积极导入国产设备，极大拉动国内半导体设备需求。

根据通联数据Datayes!，2018-2020年中国半导体设备出货金额分别为131亿、134.5亿、187.3亿美元，2021年上半年，这一数字达到141.8亿美元。

11月4日，第一财经走访国内半导体湿法设备龙头至纯科技(603690.SH)上海总部，与至纯科技董事长蒋渊就公司业务发展等问题进行交流。

半导体湿法设备累计订单超160台

至纯科技2000年成立，从高纯工艺系统起步，逐步拓展了BU1-5五个事业部，分别开展湿法设备/晶圆再生、高纯工艺系统、先进工艺材料、生物制药工艺、光传感及光器件业务。

2020年年报显示，公司高纯工艺集成系统、半导体设备和光传感及光器件的营收分别为8.63亿、2.18亿、3.15亿元，收入占比分别为61.79%、15.59%、22.52%。其中光传感及光器件毛利率水平最高，达到55.33%。

至纯科技提供的湿法设备包含湿法槽式清洗设备及湿法单片式清洗设备，主要应用于集成电路、微机电系统、平板显示等领域。

“在国产化的政策红利之下，用户正比以往任何时候都推动使用本土的设备。”蒋渊对第一财经表示，现在真正被用户认可的半导体设备厂都是不缺订单的，主要的瓶颈在于产能。

目前全球市场主要的湿法设备厂商以日本和欧美为主，国内目前有三家在湿法工艺设备端提供中高阶湿法制程设备，分别是至纯科技、北方华创和盛美半导体。国内厂商的市场占比逐年上升，当前湿法清洗设备国产化率约达20%。至纯科技是国内能提供到28纳米节点全部湿法工艺设备的本土供应商。

据了解，湿法设备国内每年的市场需求大约在15亿-22亿美元。“今年至纯科技湿法设备营收目标超过一亿美元。”

2020年，至纯科技单片湿法设备和槽式湿法设备全年出机超过了30台，较2019年增长50%。同时单片式湿法设备新增订单金额超过3.6亿元，同比增长112%。产品覆盖28nm以上全部制程节点。

“28纳米全部工艺我们都拿到了订单，今年12月预计能够全部交付客户。”蒋渊对第一财经表示，“今年四季度预计能够确认收入。14-7nm也拿到了4台订单。”

至纯科技从2015年开始做湿法设备，2017年将湿法设备作为单独的BU开始运行。“2015年至今约七年的时间里，我们已经拿到超160台订单了。”蒋渊对第一财经表示，“现在已经不止这个数字了。”

近日，在湿法设备已耕耘十几年的盛美半导体在其官方公众号上表示，10月18日盛美半导体湿法设备2000腔顺利交付，累计出货超过300台设备。

产能方面，至纯科技的半导体湿法设备主要由至纯日本与江苏启东两地开展。江苏启东厂区目前仍处于产能爬坡阶段，计划达产后产能为年产96台。

客户方面，目前至纯科技湿法设备主要客户包括中芯国际、华虹集团、长鑫存储、华为、华润、燕东、台湾力晶等。

“在供应链方面，我们也在多备一些库存。我们的设备明年底零部件的国产化率预计在80%左右。”

“我们非常在意单个用户的复购”

晶圆再生业务是湿法工艺的延伸，主要用于测试片晶圆的重复利用。伴随硅片用量的持续增长和价格上涨，晶圆再生需求旺盛。而当前国内供应商份额不足10%。至纯合肥工厂是中国首个量产12英寸再生晶圆的工厂，建成后预计将形成年产168万片的晶圆再生产能。

“晶圆再生的产能还在慢慢爬坡，今年7月开始量产，今年预计能有两个月的产能，11月份开始形成收入。”蒋渊表示，晶圆再生业务和腔体再生业务均达产后，年产值预计能够达到6亿元。

高纯工艺系统是晶圆厂建设的关键基础设施，承担化学品储存和输送的作用，约占晶圆厂建厂成本的8%。泛半导体领域的面板、光伏、LED，以及光纤、生物制药等行业亦有广泛的高纯工艺系统需求。

目前，高纯工艺系统业内龙头主要为美、日厂商等，国内厂商起步较晚。

2020年，至纯科技系统业务收入8.63亿元，毛利率为31.76%，并拥有上海华力、中芯国际、长江存储、合肥长鑫、士兰微、西安三星、无锡海力士等众多行业一线客户，2020年所有核心客户均给予了持续的重复订单。

“我们至纯非常在意单个用户的复购，高纯工艺系统我们已经有大量的用户复购。湿法设备虽然起步晚，但基于一贯的至纯的务实专业的作风，