【TechWeb】9月2日消息，科创板上市公司中微半导体设备（上海）股份有限公司（简称“中微公司”，股票代码688012）发布公告称，该公司自2019年7月22日至8月30日累计获得政府共计人民币3743.94万元补助。
根据《企业会计准则第16号——政府补助》的有关规定，上述政府补助资金中，与收益相关的政府补助为人民币1241.94万元，与资产相关的政府补助为人民币2502万元。以上各项政府补助均已到账。
中微公司是一家以中国为基地、面向全球的半导体微观加工设备公司，该公司于7月22日在科创板上市。
该公司聚焦用于集成电路、LED芯片等微观器件领域的等离子体刻蚀设备、深硅刻蚀设备和MOCVD设备等关键设备的研发、生产和销售。
据介绍，自2004年成立以来，中微公司首先开发甚高频去耦合等离子体刻蚀设备PrimoD-RIE，到目前为止已成功开发了双反应台PrimoD-RIE、双反应台PrimoAD-RIE和单反应台PrimoSSCAD-RIE三代刻蚀设备，涵盖65纳米、45纳米、32纳米、28纳米、22纳米、14纳米、7纳米和5纳米微观器件的众多刻蚀应用。
